大氣機械手SRBJ1A-AD4401

關鍵字導讀: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS CMP COATING CLEAN DETECT TRACK

描述:高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,Mapping,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。

簡介

耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構,具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優點。迎合個性化設計,手指及接口用戶可定制,網絡化控制系統,高速傳片效率和碰撞保護功能,SEMI認證S2、F47,MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業的優越之選擇。

參數

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